广州半导体材料研究所

广州半导体材料研究所成立于1966年，位于广州市天河区东莞庄路161号，占地面积2万5千平方米，为省属科研生产单位。建所以来，主要研究超纯硅多晶、高阻硅单晶、大规模集成电路级单晶片工艺技术及测试方法、测试仪器。产品和项目多次荣获国家、省、部级科技奖，多项成果填补了国内空白。先后获取多项发明专利。

广州半导体材料研究所测试技术中心是我国研制生产半导体材料专用仪器的主要单位。迄今为止巳研制成功常规四探针测试仪、双电测四探针测试仪、单晶少子寿命测试仪、导电类型鉴别仪、手持式导电膜方块电阻测试仪、二探针电阻率测试仪、非接触硅片电阻率测试仪、三探针外延片电阻率测试仪、半导体陶瓷电阻测试仪、精密四探针头等。其中大部分，处于国内领先地位。以上仪器和配件广泛应用于半导体材料、功能材料、电子器件的生产单位、科研院所和高等院校。用户覆盖全国三十多个省市，并销售港、台地区及日本、新加坡、印度等地。